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液體氣體混合配比器

產品簡介

液體氣體混合配比器 用于對氣體的質量流量進行精密測量;質量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。

它們在半導體微電子工業、特種材料研制、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的應用場合包括; 電子工藝設備,如擴散、氧化、外延、CVD、等

產品型號:流量計
更新時間:2024-03-29
廠商性質:生產廠家
訪問量:1261
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品牌其他品牌價格區間面議
產品種類質量式介質分類氣體
產地類別國產應用領域電子

    液體氣體混合配比器(Mass Flow Meter 縮寫為MFM)用于對氣體的質量流量進行精密測量;質量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。

   它們在半導體微電子工業、特種材料研制、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的應用場合包括; 電子工藝設備,如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及真空鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。

概覽

   液體氣體混合配比器(MFC)和氣體質量流量計(MFM)用于對氣體的質量流量進行 精密控制和測量。它們在半導體集成電路工藝、特種材料、化學工業、石油工業、醫藥、環 保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的應用場合包括: 集成電路工 藝設備,如外延爐、擴散爐、CVD、等離子刻蝕機、濺射臺、離子注入機; 以及鍍膜設備、 光纖熔煉設備、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣裝置、毛細管測量儀、氣相色譜儀及 其它分析儀器。

CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是七星電子生產的數字型產品,為氣體質量流量的控制、 測量提供了高準確度及高可靠性。該型產品可同時支持數字信號,0~5V 模擬信號,4~20mA 或 0~20mA 模擬信號,可以使用雙電源(±8~±16 VDC)或單電源(+14~+28 VDC)。支持自動故障報警,多氣體多量程等功能。標準開放的通訊協議為客戶自行開發控制、采集軟件 提供便利。提供功能強大的免費客戶端上位機軟件 Digital MFC。CS200-C 與 CS200-D 產品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬,其中 CS200-C 金屬表面符合 SEMI 標準的要求。

CS200-A,C,D MFC 默認配置為:
MAC 地址:32;
RS485 通信波特率:19200;
控制方式:0~5V 電壓控制。

更多細節請參考產品附帶光盤中的“CS 系列 MFC 通訊協議"。


標定

CS200-A,C,D MFC/MFM 可以按照用戶的要求來標定。如果用戶沒有說明工作情況等信息,

則按照標準狀況標定。

1、標準狀況

出口壓力:大氣壓
氣體質量流量通常用標準狀態下的體積流量來表示,質量流量單位為:

SCCM:標準毫升/分鐘
SLM:標準升/分鐘
標準狀態:溫度 0°C (273.15K)
                 氣壓:101325Pa (760mm Hg)

在標準狀態下,氣體的密度是一個常數,該密度乘以標準狀態下的體積就是質量數,所以標準狀態下的體積流量就等同于質量流量。
MFC/MFM 的標準安裝位置為水平安裝,同時為客戶提供垂直(進氣口向上或向下)、平躺及其它位置的安裝,為保證的測量精度,用戶購買時應該說明設備的安裝方式。

2、制造環境

CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是在溫度為 22±2°C的 100 級的凈化間內組裝,1000 級凈化環境下標定及包裝。

3、精度調節
CS200-A,C,D 型 MFC/MFM 在制造完成后都要在相應的標定臺上烤機 24 小時,然后進行精確標定。精度、動態響應、壓力變化的穩定性等指標須經過兩次檢查,合格后方可出廠



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