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當前位置:首頁產品中心材料樣品檢測微型真空高低溫探針臺KT-Z4019MRL4T鉑金叉指電*低溫探針臺

鉑金叉指電*低溫探針臺

產品簡介

鉻金薄膜的蒸鍍生長。本文所研究的叉指電極結構采用鉻、金材料制作。首先需要在玻璃襯底上生長一層均勻覆蓋的薄膜。將上一步工藝過程中清洗好的玻璃片放入電子束蒸發鍍膜機中,抽真空后,先蒸鍍 50 厚度的鉻金屬層,再蒸鍍1000Å 厚度的金層,后升溫到 300℃進行熱處理以增強鉻金層的黏附性。鉑金叉指電*低溫探針臺是一款專門用于叉指電極的經濟型探針臺。

產品型號:KT-Z4019MRL4T
更新時間:2024-03-29
廠商性質:生產廠家
訪問量:1162
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品牌鄭科探價格區間面議
自動化度手動產地類別國產
應用領域化工,電子

鉻金薄膜的蒸鍍生長。本文所研究的叉指電極結構采用鉻、金材料制作。首先需要在玻璃襯底上生長一層均勻覆蓋的薄膜。將上一步工藝過程中清洗好的玻璃片放入電子束蒸發鍍膜機中,抽真空后,先蒸鍍 50 厚度的鉻金屬層,再蒸鍍1000? 厚度的金層,后升溫到 300℃進行熱處理以增強鉻金層的黏附性。
       紫外光刻。首先利用勻膠機在玻璃襯底表面旋涂一層均勻的光刻膠,厚度大約為 1~2μm,然后利用光刻機設備以及已制備好叉指電極圖形的光刻板在玻璃片表面進行紫外曝光工藝,然后在顯影液中顯影得到掩模圖形。完成光刻后,在鉻金金屬薄膜表面上就形成光刻膠的電極圖案。

      叉指電極是指狀或梳狀的面內有周期性圖案的電極,它是通過電化學工藝加工獲得的超精細電路。作為電信號傳輸核心部件,廣泛應用于生物醫療檢測、環境在線監測,食品安全檢測,安全監測等重要領域。

      

鉑金叉指電*低溫探針臺

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鉑金叉指電*低溫探針臺KT-Z4019MRL4T 參數  

真空腔體

類型

高溫型室溫到400

高低溫型 室溫到400  室溫到-196

腔體材質

304不銹鋼 6061鋁合金 可選

腔體內尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體重量

不銹鋼材質 1.5KG     鋁合金材質 0.5KG

腔體上視窗尺寸

Φ42mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離)

腔體抽氣口

KF16法蘭(其余接口規格可轉接)

腔體真空測量口

KF16法蘭(其余接口規格可轉接)

腔體進氣口

6mm快擰 6mm快插

腔體冷卻方式

腔體水冷+上蓋氣冷

腔體水冷接口


腔體正壓

0.05MPa

腔體真空度

機械泵≤5Pa 5分鐘)  分子泵≤5E-3Pa30分鐘)

樣品臺

樣品臺材質

不銹鋼 銀銅合金 純銀塊

銀銅合金 純銀塊

樣品臺尺寸

26x26mm

樣品臺加熱方式

電阻加熱

電阻加熱 液氮制冷

樣品臺-視窗 距離

11mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm

樣品臺測溫傳感器

PT100型熱電阻

樣品臺溫度

室溫到400

室溫到400  室溫到-196

樣品臺測溫誤差

±0.5

樣品臺升溫速率

高溫100/min 最大值   低溫7/min

溫控儀

溫度顯示

7寸人機界面

溫控類型

標準PID溫控 +自整定

溫度分辨率

0.1

溫控精度

±0.5

溫度信號輸入類型

PT100 (可選K  S  B型熱電偶)

溫控輸出

直流線性電源加熱

直流線性電源加熱+液氮流速控制器

輔助功能

溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數接口

溫控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重量

5.6KG

探針

電信號接頭

配線轉接 BNC接頭   BNC三同軸接頭  SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2

電學性能

絕緣電阻 4000MΩ     介質耐壓 200V    電流噪聲 10pA

探針數量

4探針(可擴展5探針)

探針材質

鍍金鎢針 (其他材質可選)

探針尖

10μm

手動探針移動平臺

X軸移動行程

20mm    ±10mm(需手動推動滑臺)

X軸控制精度

500μm

R軸移動行程

120°    ±60°(需手動旋轉探針桿)

R軸控制精度

500μm

Z軸移動行程

2mm    ±1mm

Z軸控制精度

50μm(需手動螺紋調節探針桿)



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