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當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心實(shí)驗(yàn)室氣體配比器質(zhì)量流量計(jì)KT-C4ZSDS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器

DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器 DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器是針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)的一款適用于半導(dǎo)體裝備的氣體質(zhì)量流量控制器,用于半導(dǎo)體器件的刻蝕、濺射等工藝。DS300采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù)和高精度壓電閥控制技術(shù)使產(chǎn)品具有零漂小,精度高,響應(yīng)速度快,壓力不敏感的特點(diǎn),產(chǎn)品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬,金屬表面狀況符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的要求。

產(chǎn)品型號(hào):KT-C4ZS
更新時(shí)間:2024-03-29
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1240
詳細(xì)介紹在線留言
品牌鄭科探價(jià)格區(qū)間面議
產(chǎn)品種類其他介質(zhì)分類氣體
產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子

DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器

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DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器是針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)的一款適用于半導(dǎo)體裝備的氣體質(zhì)量流量控制器,用于半導(dǎo)體器件的刻蝕、濺射等工藝。DS300采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù)和高精度壓電閥控制技術(shù)使產(chǎn)品具有零漂小,精度高,響應(yīng)速度快,壓力不敏感的特點(diǎn),產(chǎn)品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬,金屬表面狀況符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的要求。

DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器

• 控制精度高,精度可達(dá)±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
• 響應(yīng)速度快,響應(yīng)時(shí)間≤ 0.5sec。
• 采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù),使產(chǎn)品具有壓力不敏感特性,能夠適用較大的氣源壓力波動(dòng)。
• DS300采用有效的機(jī)械加工技術(shù)與表面處理技術(shù)解決深小孔不能或者很難電拋光(EP)的難題,實(shí)現(xiàn)孔徑相對(duì)較小(孔徑<1mm)、深徑比相對(duì)較大(>10)的不銹鋼小孔、深盲孔以及交叉孔的表面電化學(xué)拋光處理,*符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)要求。

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技術(shù)參數(shù)

DS300C

類型

DS300C

閥類型

常閉

流量規(guī)格(N2)

(0~30,50,100,200,300,500)  SCCM
(0~1,2,3,5,10)            SLM

準(zhǔn)確度

±1% S.P. (≥10% F.S.)       
±1% F.S. (<10% F.S.)       

線性

±0.5% F.S.

重復(fù)精度

±0.2% F.S.

響應(yīng)時(shí)間

≤ 0.5sec            

進(jìn)口壓力

240~450KPa 流量規(guī)格≤5SLM
350~450KPa  流量規(guī)格>5SLM

出口壓力

≤1.2KPa    流量規(guī)格≤5SLM
≤13.3KPa  流量規(guī)格>5SLM

溫度系數(shù)

零點(diǎn):≤±0.02% F.S./℃;
調(diào)節(jié)時(shí):≤±0.1% F.S./℃

耐壓

3 MPa

漏率

1×10-11 Pa·m3 / sec He

密封材料

金屬密封

最大工作壓力

0.45MPa

工作環(huán)境溫度

(10~45)℃

輸入信號(hào)

數(shù)字:RS485 或 DeviceNet
模擬:(0~5)VDC

輸出信號(hào)

數(shù)字:RS485 或 DeviceNet  
模擬:(0~5)VDC

零漂

在沒有零點(diǎn)校正時(shí)<0.6%F.S./年

電源

±8~±16 VDC (雙極) 或 +14~+28 VDC (單極)

表面化學(xué)成分

Cr/Fe比例≥2.0;
CrO 厚度≥20 (埃)

表面粗糙度

Ra  5μinch

標(biāo)準(zhǔn)接頭形式

VCR1/4陽(yáng)接頭;
1.125″C型密封接頭;
1.125″W型密封接頭;
Compression Fittingφ6

電源接頭形式

D型9針陽(yáng)接頭;
D型15針陽(yáng)接頭;
DeviceNet接頭

重量

1.2Kg

 


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