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小型真空鎢舟熱蒸鍍儀

產品簡介

小型真空鎢舟熱蒸鍍儀KT-Z1650CVD是一款小型多功能鍍膜儀，額定1800度高溫，自動樣品擋板，靶臺旋轉，觸摸屏多段控制，工藝儲存等功能。

產品型號：KT-Z1650CVD
更新時間：2024-03-27
廠商性質：生產廠家
訪問量：1351
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品牌鄭科探產地類別國產
應用領域化工,電子

小型真空鎢舟熱蒸鍍儀KT-Z1650CVD

是一款小型多功能鍍膜儀，額定1800度高溫，自動樣品擋板，靶臺旋轉，觸摸屏多段控制，工藝儲存等功能。

正空蒸發鍍膜包括以下基本過程：
（1）加熱蒸發過程：包括由凝聚相轉變為氣相的過程，每種蒸發物質在不同的溫度有不同的飽和蒸氣壓。
（2）氣態原子或分子在蒸發源與基片之間運輸，即原子或分子在環境氣氛中的飛行過程。

（3）蒸發原子或分子在基片表面張得沉積過程。即是蒸發，凝聚，成核，核生長，形成連續的膜。由于基板溫度遠

低于基板溫度遠低于蒸發源溫度，因此，氣態分子在基片表面將發生直接由氣態到固態的相轉變過程。


637853680603154055897.jpg


編輯

以下是不同真空度 不同鍍膜時間鍍銅樣品圖

637858771737832260197.png   原樣品沒有鍍膜                       637858771732996198687.png  115A 100秒 機械泵

637858771732840196319.png115A 100秒 分子泵抽12分鐘    637858771732684194803.png  115A 120秒 分子泵抽20分鐘


真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色


小型真空鎢舟熱蒸鍍儀KT-Z1650CVD

控制方式

7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

加熱方式

數字式功率調整器

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

最大功率

≤1200W

最大輸出電壓電流

電壓≤12V  電流≤120A

真空度

機械泵 ≤5Pa（5分鐘）   分子泵≤10^-3Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm

樣品臺

可旋轉φ62  （最大可安裝φ50基底）

樣品臺轉速

8轉/分鐘

樣品蒸發源調節距離

70-140mm

蒸發溫度調節

≤1800℃

支持蒸發坩堝類型

鎢絲藍  帶坩堝鎢絲藍  鎢舟  碳繩  

預留真空接口

KF25抽氣口  KF16真空計接口  KF16放氣口 6mm卡套進氣口

可選配擴展

機械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa）  

數顯真空計（測量范圍大氣壓到0.1Pa）

分子泵機組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa）



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