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當前位置：首頁產品中心材料樣品處理小型濺射儀KT-Z1650PVD小型濺射儀鄭科探

小型濺射儀鄭科探

產品簡介

小型濺射儀鄭科探KT-Z1650PVD 該產品為臺式磁控濺射鍍膜機，能夠在非導電或導電不良的樣品上涂布金（Au），鈀（Pd），鉑（Pt）和金/鈀（Au / Pd）的薄膜。 在較短時間內即可形成具有細粒度的均勻薄膜，

產品型號：KT-Z1650PVD
更新時間：2024-03-27
廠商性質：生產廠家
訪問量：1180
產品咨詢 15136134901

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產品分類
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0371-60308298

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品牌鄭科探濺射氣體根據需求通氣
樣品臺尺寸50mm控制方式觸摸屏智能控制
樣品倉尺寸φ160x160mm靶材尺寸50mm
靶材材質金 鉑 銅 銀 等價格區間面議
產地類別國產應用領域化工,電氣

小型濺射儀鄭科探KT-Z1650PVD


離子濺射儀在掃描電鏡中應用十分廣泛，通過向樣品表面噴鍍金、鉑、鈀及混合靶材等金屬消除不導電樣品的荷電現象，并提高觀測效率，另外可以使用噴碳附件對樣品進行蒸碳，實現不導電樣品的能譜儀元素定性和半定量分析。


磁控濺射優點

（1）沉積速率快，沉積效率高，適合工業生產大規模應用；

（2）基片溫度低，適合塑料等不耐高溫的基材鍍膜；

（3）制備的薄膜純度高、致密性好、薄膜均勻性好、膜基結合力強；

（4）可制備金屬、合金、氧化物等薄膜；


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小型濺射儀鄭科探KT-Z1650PVD廠家供應技術參數；

控制方式

7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1000W

輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

真空

機械泵 ≤5Pa（5分鐘）   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

樣品臺

可旋轉φ62  （可安裝φ50基底）

樣品臺轉速

8轉/分鐘

樣品濺射源調節距離

40-105mm

真空測量

皮拉尼真空計（已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa）

預留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口




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