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當前位置:首頁產品中心材料樣品檢測探針臺KT-Z1604TZ高溫真空探針臺

高溫真空探針臺

產品簡介

高溫真空探針臺KT-Z1604TZ,可單選高溫或低溫等相應組件,溫度可達到400℃。以便測量分析溫度變化時芯片性能參數的變化。腔體內被測芯片在真空環境中有效避免易受氧化半導體器件接觸空氣所帶來的測試結果誤差。

產品型號:KT-Z1604TZ
更新時間:2024-03-29
廠商性質:生產廠家
訪問量:1203
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品牌鄭科探

  高溫真空探針臺KT-Z1604TZ

  真空探針臺可實現高真空環境下的高溫及低溫電學性能測量,真空腔一體成型,具有設計合理,真空度穩定,溫控精度及機械精度高等特點;根據測試溫度范圍不同,可單選高溫或低溫等相應組件,溫度可達到400℃,低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件,溫度可低至-196℃,;真空系統可選機械泵或分子泵系統,真空度可達到10-3Torr或10-6Tor。

  高低溫真空探針臺應用:

  可應用于低溫或高溫真空環境下被測樣品的電學性能測試分析,如:半導體/微電子,電子,機電,物理,化學,材料,光電,納米,微機電/MEMS,生物芯片,航空航天等科學研究領域,以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產制造領域。

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高溫真空探針臺KT-Z1604TZ參數

 

 

真空腔體

 

腔體材質

 

304不銹鋼

 

上蓋開啟

 

鉸鏈側開

 

加熱臺材質

 

304不銹鋼

 

內腔體尺寸

 

φ160x90mm

 

觀察窗尺寸

 

Φ70mm

 

加熱臺尺寸

 

φ60mm

 

觀察窗熱臺間距

 

75mm

 

加熱臺溫度

 

﹣196~350℃

 

加熱臺溫控誤差

 

±1℃

 

真空度

 

機械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

 

允許正壓

 

≤0.1MPa

 

真空抽氣口

 

KF25真空法蘭

 

氣體進氣口

 

3mm-6mm卡套接頭

 

電信號接頭

 

SMA轉BNC X 4

 

電學性能

 

絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質耐壓 ≤500V

 

探針數量

 

4探針

 

探針材質

 

鎢針  

 

探針尖

 

10μm

 

探針移動平臺

 

X軸移動行程

 

30mm    ±15mm

 

X軸控制精度

 

≤0.01mm

 

Y軸移動行程

 

13mm    ±12.5mm

 

Y軸控制精度

 

≤0.01mm

 

Z軸移動行程

 

13mm    ±12.5mm

 

Z軸控制精度

 

≤0.01mm

 

電子顯微鏡

 

顯微鏡類別

 

物鏡

 

物鏡倍數

 

0.7-4.5倍

 

工作間距

 

90mm

 

相機

 

sony 高清

 

像素

 

1920※1080像素

 

圖像接口

 

VGA

 

LED可調光源

 

 

顯示屏

 

8寸

 

放大倍數

 

19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm

 

 

 

 

 

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