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當前位置:首頁產品中心材料樣品處理小型濺射儀KT-Z1650PVD金屬磁控濺射儀

金屬磁控濺射儀

產品簡介

金屬磁控濺射儀, 外形小巧 ,功率電流大小可調,觸摸屏控制,有工藝儲存功能,外配水冷機可長時間工作。

產品型號:KT-Z1650PVD
更新時間:2024-03-27
廠商性質:生產廠家
訪問量:1316
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品牌鄭科探濺射氣體根據需求通氣
樣品臺尺寸50mm控制方式觸摸屏智能控制
樣品倉尺寸φ160x160mm靶材尺寸50mm
靶材材質金 鉑 銅 銀 等價格區間面議
產地類別國產應用領域綜合

屬磁控濺射儀這是一種易于使用的基本儀器,用于SEM試樣的鍍金。它具有全可變電流控制、帶暫停選項的數字過程定時器、可變高度試樣臺、鉸鏈頂板和 O 形圈密封真空室。該控制裝置允許獨立于氣體壓力設置濺射電流,氣體壓力由手動泄漏閥單獨調節。覆蓋面和晶粒尺寸針對任何試樣進行了優化,徑目標的冷磁控管型磁頭能夠以最小的加熱實現高效的濺射。鍍膜時間由帶有數字讀數的定時器設置并存儲在存儲器中。真空狀態和濺射電流顯示在C觸摸屏上。

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屬磁控濺射儀廠家供應技術參數;

控制方式

7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1000W

輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

真空

機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

樣品臺

可旋轉φ62  (可安裝φ50基底)

樣品臺轉速

8轉/分鐘

樣品濺射源調節距離

40-105mm

真空測量

皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口




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